Oprema serije CMP koju je neovisno razvio LSTD opskrbljuje proizvođače poluvodičkih materijala kao što su SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, dijamant itd. Oprema za recikliranje pločica ušla je u više tvrtki za proizvodnju poluvodiča kao što su SMIC; Automatizirana proizvodna linija za poliranje silicijevog karbida bit će isporučena u tvornicu kupca za probnu proizvodnju u Q1 2024;
Na temelju izvornog laboratorija uložit će se milijuni juana u izgradnju čistih soba od 100 000 razina, 10 000 razina i 100 razina čistih soba i opreme za precizno ispitivanje, koja će biti pregledana i puštena u upotrebu u drugoj polovici 2024. godine.
6"/8" SiC linija za poliranje pločica
6"/8" SiC pločica
Soba za čišćenje 100 klase
Više{0}}stroj za čišćenje utora
Inspekcijski kapacitet
